激光加工技术在聚合物平面光波导芯片上的应用
平面光波导器件以其体积小、易于大规模生产、成本低等优点,成为无源光通信器件的发展方向.光通信领域的不断发展,对平板波导芯片的需求不断增加,激光技术的应用简化了光电子器件的传统制作工艺.本文研究激光加工技术在聚合物平面光波导芯片上的应用.主要可分为三方面:制作微流控通道;制作聚合物光波导;芯片端面解理.在此基础上,研究了激光刻蚀的槽的理想条件:速度10mm/s,功率0.5W. 光波导(optical waveguide)由光透明介质构成的传输光频电磁波的导行结构。光波导的传输原理是在不同折射率的介质分界面上，电磁波的全反射现象使光波局限在波导及其周围有限区域内传播。光波导是光学系统小型化、集成化、固体化需求下的产物。 传统制作光波导器件的方法有:光刻、刻蚀(RIE, ICP)、压印等，高效、快速的制作工艺成为了新时代的需求。激光写入技术具有高精度，高效率，工艺简单，成本低等优点。 光波导与微流控集成技术是未来研究的热点。微流控传感芯片是一种微型化的系统，它以微流体通道为主要组成部分，通过在微通道内注入的液体进行感知环境中一些参数的变化，从而使微通道内液体的特征参数发生变化，达到感知环境变化的目的。迄今为止，越来越多的行业开始应用微流控芯片，进一步研究加工微流控芯片的技术，将会对越来越多的行业产生深远的影响。本论文研究了用CO2激光直写法加工聚合物微流控芯片的工艺过程。 同时分析了芯片端面的处理方法，对于聚合物PMMA基片，使用激光切割，可以简单方便的操控解理位置，以及聚合物PMMA基片的切割形状。
平面光波导芯片 激光加工技术 微流控通道 制备工艺
王焕然 刘豫 姬兰婷 陈仁芳 衣云骥 王菲 张大明
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春130012
国内会议
南京
中文
102-106
2014-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）