不同混合工艺数模转换器的剂量率效应

摘要：

选取三款R-2R梯形网络架构混合工艺数模转换器作为研究对象,三款样品分别采用LC2MOS、CBCMOS 和BiCMOS工艺制作,使用60Coγ射线源对其进行了不同剂量率、不同偏置条件下的电离辐射响应特性研究,本次研究重点为三款器件的剂量率效应特性的差异及产生原因.试验结果显示:不同混合工艺数模转换器表现出了不同程度的剂量率效应,初步分析认为这种差异性与其制作工艺有关;不同工艺数模转换器的剂量率效应敏感参数不同,且同一数模转换器的各参数表现出了剂量率效应差异性,分析认为差异性来源于辐照致失效模块的主要制作工艺不同.

关键词： 数模转换器 剂量率效应 混合工艺 梯形网络架构

作者: 王信 陆妩 郭旗 吴雪 马武英 崔江维

作者单位: 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室,新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;中国科学院大学,北京100049 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室,新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国辐射物理学术交流会(CRPS`2014)

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）