化学镀厚铜3D-MID金属化工艺中的应用
3D-MID的金属化工艺作为3D-MID技术工艺的一个重要环节,随着3D-MID技术的不断发展自身也在不断的完善和改进中.而在3D-MID金属化工艺中化学镀铜工艺尤为重要.对化学镀铜的工艺进行介绍,并且从镀液稳定性、沉积速度、温度等方面进行简单探讨。
化学镀铜 三维模塑互连器件 镀液稳定性 沉积速度 温度控制
包海生 黄皓
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2014-08-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)