六氟-1,3-丁二烯的提纯方法及应用优势

摘要：

六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成线路的干法刻蚀方面.本文介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较.根据HFBD合成工艺的不同,精制提纯的方法也不同.针对不同杂质采用不同的纯化方法,将低温精馏、冷凝冷冻、选择性吸附等提纯技术联用,有望得到高纯HFBD气体.

关键词： 六氟-1,3-丁二烯 纯化工艺 刻蚀性能 电子产品

作者: 徐娇 何双材 胡欣 齐海 张金柯 白占旗

作者单位: 浙江省化工研究院氟碳化学品研发和技术中心,浙江 杭州 310023

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十八次年会

会议地点: 浙江萧山

会议语种:中文

页码: 53-58

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）