环境温度对电容薄膜规校准系数的影响

摘要：

本文介绍了电容薄膜规的原理,探讨了环境温度对电容薄膜规校准结果产生的影响,并对修正方法做了分析，同时列举了温度修正实例。电容薄膜规本身是一种非常精密的压力测量仪表，而要达到如此优越的测量精度，则必须考虑对其数值产生影响的诸多因素，环境温度是其中非常重要的一项。在0.1Pa～100Pa范围内，如果需要在高精度情况下使用电容薄膜规，则必须要进行温度修正。

关键词： 真空测量 电容薄膜规 校准系数 环境温度

作者: 于红燕 王金库 陈宇航

作者单位: 中国计量科学研究院,浙江省计量科学研究院,北京100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 344-347

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）