有关陶瓷膜片型电容膜片真空计的稳定性
陶瓷薄膜或膜片型电容膜片真空计进入市场约15年,这些设备全量程从13帕至133仟帕的长期稳定性在过去十年中已测试,被制造商用作为生产线上的参考真空计,这些参考真空计每年与初级标准进行校准,发现这些设备的再现性与它们的全量程有关,对13帕,近全量程的年再现性在0.02％与0.05％间变化,对全量程133帕和更高,在全量程的0.005％与0.03％间变化,陶瓷电容膜片真空计对全量程133帕和1.3仟帕的再现性大大低于初级标准静态膨胀法系统的不定性。陶瓷CDGs技术已达到相当的成熟，长期不稳定性在0.01％～0.02％内(全量程≥133帕)，是如此低，以致静态膨胀法系统初级标准的不定性过高，从而不能直接地观察真实的长期不稳定性。近全量程的陶瓷CDGs被推荐用作为很稳定的传递标准.然而，必须指出，这里用于测试的CDGs经过贮存、运输和用于相对纯的条件下，周围为大气压空气或氮气作为测试气体.本研究的结果不代表将CDGs用于污染的过程环境。
电容膜片真空计 陶瓷膜片 校准机理 长期稳定性
K. Jousten Simon Naef
Physikalisch-Technische Bundesanstalt,Abbestr. 2-12,10587 Berlin,Germany NFICON AG,Alte Landstrasse 6,9496 Balzers,Liechtenstein
国内会议
中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
天津
中文
354-363
2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）