阳极氧化铝的原子层淀积封孔研究

摘要：

制备了多孔阳极氧化铝,利用原子层淀积技术对其封孔,借助场发射扫描电镜(SEM)分析了样品的表面及剖面形貌,对样品进行染色处理,利用酸性点滴试验测试样品抗腐蚀性能。结果表明:阳极氧化处理形成大孔径约为16nm的多孔膜,多孔膜在循环50次的原子层淀积下能实现表面封孔而内部有空结构；经封孔后的样品抗染色及抗腐蚀能力增强。

关键词： 铝材 阳极氧化 原子层淀积 表面封孔 抗腐蚀性能

作者: 杨忙 计峰 李超波 夏洋 刘邦武

作者单位: 山东大学物理学院,山东 济南 250100;中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029;中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心,浙江 嘉兴 314006 山东大学物理学院,山东 济南 250100 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京 100029;中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心,浙江 嘉兴 314006

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013海峡两岸功能材料科技与产业峰会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 24-26

在线出版日期: 2013-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）