XRR技术在非晶超薄的高K介电薄膜研究中的应用

作者: 姬洪 向勇 张庶 宋远强 张博 廖永波 张皓

作者单位: 电子科技大学 能源科学与工程学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都市,611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 340-340

在线出版日期: 2012-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）