AIN薄膜体声波谐振器的二维数值模拟

摘要：

　　利用时域有限差分方法对二维薄膜体声波谐振器的进行了数值分析。可以精确预测各场分量在在空间和时间上的分布。在记录一段时间内的电压和电流值的基础上，利用Prony算法计算了膜体声波谐振器的电学阻抗特性。

关键词： 薄膜体声波谐振器 时域有限差分法 数值分析 电学阻抗

作者: 于小利 罗中涌 曹明 公勋 章德

作者单位: 近代声学教育部重点实验室，南京大学声学所，江苏 南京 210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 重庆市声学学术交流会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 6-8

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）