12寸半导体厂节能方案研究

摘要：

随着科技业的发展，台湾地区拥有三大科学工业园区，与全世界高密度的12寸半导体厂。高科技产业是目前台湾经济主轴之一，高科技产业能源需求量相当大，也是台湾主要的电能用户。本研究针对12寸半导体晶圆厂厂务系统节能案例研究。利用A、B、C三座12寸晶圆厂之厂务系统进行案例比较。并举出四个节能案例进行讨论与建议。

关键词： 半导体厂 空调工程 空调能耗 系统节能

作者: 林照闵 骆文杰 吴友烈 余光正

作者单位: 国立勤益科技大学冷冻空调与能源所 国立勤益科技大学冷冻空调与能源系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届制冷空调工程工作委员会会员代表大会暨第四届中国制冷空调工程行业发展高层论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 73-77

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）