电子工厂高级别洁净厂房的建造特点

摘要：

本文介绍了电子工厂生产工艺对受控环境的要求，指出电子工厂高级别洁净室多采用混合流洁净室，浅谈了电子工厂高级别洁净室的建造费用。

关键词： 电子工厂 洁净厂房 生产工艺 受控环境

作者: 张利群

作者单位: 中国电子工程设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国国际洁净技术论坛

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 119-124

在线出版日期: 2009-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）