医用磁控管阴极制备工艺的改进

摘要：

本文介绍了氧化物阴极的一种改进的制作工艺。采用该工艺，研制出了表面涂层光滑，有金属光泽，耐电子、离子轰击，不易打火的医用磁控管氧化物阴极。结果表明，该阴极具有次级发射系数高、工艺一致性好等优点，能满足制管要求，并具有较好的发展前景。

关键词： 医用磁控管 阴极结构 氧化物阴极 模制工艺

作者: 韩俐玲

作者单位: 中国电子科技集团公司第十二研究所 北京 100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 589-592

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）