基于静电刚度的谐振式微加速度计闭环锁相驱动

摘要：

平行板电容器加载静电时，静电力使得活动极板发生位移，产生等效静电刚度。通过加载在平行板上的静电力引起的静电刚度来调节频率变化，即加速度引起质量块的位移，位移带来静电刚度的变化，刚度变化带来频率变化。基于静电刚度的谐振式微加速度计可以通过加载检测电压来调节灵敏度，对加工误差具有较好的鲁棒性，重复性和稳定性均比较好。

关键词： 静电刚度 平行板电容器 微加速度计 加载检测 闭环锁相驱动

作者: 刘恒 苏伟 何晓平 张凤田 张富堂

作者单位: 重庆大学通信工程学院，重庆，400030 中国工程物理研究院电子工程研究所，绵阳，621900 中国工程物理研究院电子工程研究所，绵阳，621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 23-24

在线出版日期: 2009-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）