(Ⅱ)新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的大型蒸发镀膜设备
大型蒸发镀膜设备需要配置抽速几万L/s以上的高真空泵。目前，国内外大型蒸发镀膜设备都采用油扩散泵抽气，成为目前高能耗、高油蒸汽污染扩散泵的主要应用阵地。本研究采用4台抽速1，000L/s的分子增压泵+l台0.4m2深冷水汽泵组成高真空抽气机组，成功取代了为Φ1600×1900大型蒸发镀膜设备配套的2台K-800扩散泵和1台ZJ-1200罗茨泵抽气机组，取得了下列优异成果：抽气能耗：2.5度/炉，比原设备节省80%，年节电30～40万度/台，相当于每台设备减排CO2200～300吨/年。
蒸发镀膜设备 分子增压泵 深冷水气泵组合抽气机组
储继国 龚建华 郑主安 蒋新元 潘尚尧 王树理 王雨 赖小化
深圳大学物理科学与技术学院 摩尔市真空技术有限公司 上海三井真空设备有限公司 上海协元低温真空设备厂 深圳市振恒昌实业有限公司 深圳丽星电子科技有限公司
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2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）