超声波激励微管道内的流场研究

摘要：

本文首先应用声流的基本理论，建立起基于MEMS技术制造的微流体装置的一维解析模型，分析了声场对微管道内流体运动的影响，并利用有限元分析软件ANSYS对超声波激励的微管道进行流体-结构耦合场数值分析，得到微管道内声压、频率以及流场的速度和驱动力分布的结果。

关键词： 声流 微管道 超声激励 微流体装置 解析模型 有限元分析

作者: 孙宏明 郭航

作者单位: 厦门大学萨本栋微机电研究中心 361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 377-381

在线出版日期: 2006-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）