光学膜厚监控方法

摘要：

针对目前光学镀膜过程中最常用的两种光学膜厚监控方法--单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,对现行用作自动膜厚控制的数据处理方法和影响因素进行了分析,并介绍了这两种方法的特点及适用范围.

关键词： 光学薄膜 膜厚监控 单波长法 宽光谱法

作者: 殷浩

作者单位: 天津津航技术物理研究所,天津,300192

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年国际光学薄膜技术及其应用研讨会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 77-82

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）