基于柔性铰链的热驱动微夹钳的实验和仿真分析

摘要：

微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象,需要满足定位精度高,稳定性好,响应速度快,控制方便的要求.柔性铰链以其特殊的性能广泛应用于操作执行器的设计应用中.本文以一种基于柔性铰链的电热驱动微夹钳为研究对象,通过实验和ANSYS有限元仿真分析对微夹钳的机械性能进行了分析,发现微夹钳端部的输出位移与输入电压基本呈线形关系.通过仿真分析探讨了柔性铰链结构尺寸变化对微夹钳性能的的影响.

关键词： 微执行器 柔性铰链 电热驱动微夹钳

作者: 王旭 沈雪瑾 张永宇

作者单位: 上海大学机械自动化系,上海,200072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1559-1562

在线出版日期: 2006-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）