铅离子辐照注碳4H-SiC的红外光谱特性研究

摘要：

主要研究了铅离子辐照注碳4H-SiC样品在3个不同退火温度下傅立叶变换红外光谱的变化.从红外谱的变化可以知道铅辐照注碳4H-SiC样品在一定深度内出现了非晶层, 波数在960-1 450 cm-1范围内出现了干涉带, 干涉带强度随着退火温度的升高而变弱.1 373 K退火后样品的卢瑟福背散射分析结果显示, 一定深度内硅原子的背散射产额明显减少.

关键词： 4H-SiC 傅立叶变换红外光谱 离子注入 卢瑟福背散射分析 退火

作者: 周丽宏 张崇宏 宋银 杨义涛

作者单位: 中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国反应堆物理与核材料学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 221-223

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）