电阻发热引起的压阻式压力传感器零点失调研究

摘要：

该文使用有限元方法，分析了压力传感器力敏电阻工作时的自身发热对传感器零点输出的影响，结果表面：由于电阻工作的发热引起传感器温度分布的不均匀，即便组成压力传感顺电桥的力敏电阻参数完全匹配，传感顺也存在零点失调。

关键词： 有限元方法 压力传感器 力敏电阻 零点失调

作者: 李晶晶 岳瑞峰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 167～170

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）