国外空气洁净技术发展的若干现状

摘要：

本文仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心,介绍了国外在分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面在近几年中的技术进展.

关键词： 微电子工业 空气洁净技术 分子态污染物质 微环境控制

作者: 范存养 徐文华

作者单位: 同济大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际(北京)洁净技术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 225-240

在线出版日期: 2002-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）