会议专题

电介质保护膜对磁光记录膜的磁和磁光特性的影响

采用射频磁控溅射制备了非晶TbTeCo薄膜及其保护层AIN薄膜,并研究保护层对薄膜的磁和磁光特性的影响.结果表明,AIN薄膜可以增强薄膜磁光效应,同时,AIN薄膜对TbTeCo磁光薄膜的娇顽力、垂直磁各向异性以及本征克尔角都有一定的影响.其原因来自于溅射过程中N和Al原子对TbTeCo薄膜表面的轰击而导致的界面特性的改变.

TbTeCo薄膜 AIN保护层 矫顽力 垂直磁各向异性 本征克尔角

熊锐 金明桥 刘海林 汤五丰 石兢

武汉大学物理系(武汉)

国内会议

中国真空学会薄膜技术学术交流会

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209-212,220

2001-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)