Generation of subsurface defects of monocrystalline silicon under nanoscratching

关键词： stacking faults twins dislocations nanoscratching monocrystalline silicon

作者: Qihong Fang

作者单位: College of Mechanical and Vehicle Engineering,Changsha,410082,China

会议类型: 国际会议

会议名称: 第13届国际断裂大会(ICF2013)

会议地点: 北京

会议语种:英文

页码: 1-1

在线出版日期: 2013-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）