Residual stress and fracture toughness of sputtered TiN films

关键词： thin film stress TiN fracture hardness

作者: Xiaolu Pang Liqiang Zhang Hai Tran Alex Volinsky

作者单位: Department of Materials Physics and Chemistry,University of Science and Technology Beijing,Beijing10 University of South Florida,Tampa FL 33620,USA

会议类型: 国际会议

会议名称: 第13届国际断裂大会(ICF2013)

会议地点: 北京

会议语种:英文

页码: 1-1

在线出版日期: 2013-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）