FB-CVD方法制备SiC包覆层过程中的MTS裂解气体分析
高温气冷堆核燃料元件采用TRISO型四层包覆燃料颗粒,其中SiC层是阻挡裂变产物的关键层,为采用流化床化学气相沉积(FB-CVD)方法制备而成.进行包覆燃料颗粒SiC层前驱体的裂解过程研究,对优化SiC包覆层的制备有一定的指导意义.文献中多考虑1300℃以下固定床中甲基三氯硅烷(MTS)裂解过程分析,对流化床和高温条件下MTS裂解制备SiC包覆层的气体分析研究较少.本文以MTS为前驱体原料,采用流化床化学气相沉积的方法在模拟颗粒上沉积SiC层,对MTS前驱体的裂解气体进行气相色谱(GC)定性定量分析,研究温度对气相组成的影响,并反推MTS裂解反应机理.主要结论如下:流化床中高温裂解气主要以CH,、HC1为主,且沉积温度对裂解气体组成有重要影响,并给出高温条件下MTS裂解反应的主要路径.
高温气冷堆 核燃料元件 碳化硅包覆层 流化床 化学气相沉积 甲基三氯硅烷 裂解气体
王子梁 刘荣正 刘马林 常家兴 刘兵 邵友林 王永欣
清华大学核能与新能源技术研究院,北京190084;西北工业大学,陕西西安710072 清华大学核能与新能源技术研究院,北京190084 西北工业大学,陕西西安710072
国内会议
四川绵阳
中文
165-170
2015-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）