一种柔性压力传感阵列及其信号处理电路设计

摘要：

设计了一种基于柔性衬底和柔性压敏材料的压力传感器阵列.该4×4的柔性阵列采用光刻工艺制备,尺寸为2.5×2.5cm2,衬底是PET-ITO柔性基板,压敏材料为导电橡胶(CSA57-7RSC PCR Technical).设计了针对该阵列的信号处理电路,该电路将压敏橡胶的电阻值转变为电信号,并完成信号的选通,A/D转换以及最后经USB转给PC机等功能,以判断传感阵列感知到的力的大小和方位.该微型阵列可用于机器人仿生手等领域。

关键词： 压力传感器阵列 信号处理电路 系统设计 柔性衬底 柔性压敏材料

作者: 梅海霞 王睿 张策 王志轩 侯冰基 张彤

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院 吉林长春130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 642-645

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）