X射线三维显微镜及其典型应用
X射线三维显微镜能够以亚微米的细节分辨能力对被检测对象内部结构进行无损的三维成像,是一种新型的检测设备.本文介绍了三英精密仪器有限公司研制的nanoVoxel-2000系列X射线三维显微镜的结构和工作原理,展示了该仪器在系统设计、成像方法及应用分析方面的特色之处.该系列的X射线三维显微镜最大管电压为150KeV,最高成像分辨率可达500nm,能够实现不同尺寸样品、不同分辨率的成像.在此基础上,探讨了X射线显微镜的典型应用,主要对样品的内部的结构、形貌进行表征.希望典型应用的实例能起到抛砖引玉的作用,吸引更多学者利用X射线三维显微成像技术开展科学研究,拓宽X射线三维显微镜的应用领域.
无损检测 X射线三维显微镜 内部结构 成像质量
邹晶 须颖 姚淑艳
三英精密仪器有限公司,天津300300;精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学),天津300072 三英精密仪器有限公司,天津300300
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243-249
2014-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）