声表面波加速度传感器的设计
声表面波加速度传感器一般由作为悬臂梁的压电基片,及基片上的声表面波器件和质量振子构成.质量阵子受力运动引起悬臂梁形变,从而改变延迟线两个叉指换能器间距离,由此延迟线上的声传播时延变化.最终输出电信号的相位发生变化反应了悬臂梁的振动幅度.而悬臂梁的物理尺寸直接影响了传感器的灵敏度,动态范围等参数.本文介绍了选取悬臂梁尺寸的几个考虑参数,计算出符合工业要求的理论值,并实际验证了计算结果.最终选择了17mm*3.65mm*0.45mm的悬臂梁结构,它可以测出低至0.5m/s2的加速度,有±500m/s2的动态范围.
声表面波加速度传感器 质量振子 悬臂梁结构 设计参数
黄杨青 王文
声学微机电实验室
国内会议
北京
中文
403-406
2014-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）