纳米级XY 微定位平台的设计与研究

摘要：

为了实现二维平面纳米级定位,研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台。该微定位平台具有 高刚度、高响应速度和高分辨率等优点。为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足,采用杠杆放大机构增加微定位平台 的位移输出。考虑驱动电路的影响,建立了微定位平台的机电耦合模型。通过试验研究了微定位平台的静动态特性,试验 结果表明微定位平台的分辨率为5nm ,固有频率分别为143Hz 和180Hz。该微定位平台可应用于纳米级的微定位。

关键词： micropositioning table piezoelectric actuator dynamic performance

作者: 田延岭 张大卫 闫兵

作者单位: 天津大学机械工程学院, 天津　300072 天津工程师范学院机械工程系, 天津　300222

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年LMS中国用户大会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）