残余气体对氧化锌阴极场发射特性的影响

摘要：

　　文章采用四极质谱实时分析的方法研究了纳米场发射阴极器件在工作过程中的放气特性。研究结果表明：纳米氧化锌阴极工作时器件内部的残余气体主要成分为H2，CO2和CO，还有少量的CH4。发现了氧化锌阴极的开启场强和阈值场强的增加与器件内残余气体的压强之间呈现指数上升的趋势。利用发现的规律可以评估残余气体环境压强对氧化锌阴极场发射特性的影响。

关键词： 氧化锌阴极场 发射特性 器件残余气体 环境压强 质谱分析

作者: 崔云康 张晓兵 雷威 狄云松 毛福明

作者单位: 东南大学电子科学与工程学院 江苏南京 210096 南京工程学院基础部 江苏南京 211167 东南大学电子科学与工程学院 江苏南京 210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 339-344

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）