MEMS微加速度计读出电路及其前置放大器的设计

摘要：

本文提出了一种基于开关电容技术的 MEMS微加速度计读出电路的设计方案。这种电路结构将变化的电容信号转化为电压信号，实现了差分式电容微加速度计的信号读出。另外，设计了高增益低噪声的前置放大器，并针对低噪声的要求，进行了噪声特性分析，提出了减小噪声的措施。这种读出电路可以完全消除寄生电容的影响并且不需要复杂的驱动电路，其输出能够直接被A/D转换器数字化而不需要抗混叠滤波。作为一种数据采样技术，特别适合集成电路的设计。

关键词： MEMS微加速度计 读出电路 前置放大器 开关电容

作者: 许巧丽 孙会

作者单位: 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 四川 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 115-118

在线出版日期: 2009-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）