磁控直流等离子体炬内的多场耦合研究

摘要：

以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，首先对炬内的多场耦合关系进行理论分析，然后对经典的流体动力学方程组加以修正，引入与电磁场有关的多个源项，并结合麦克斯韦方程组(全欧姆定律、电流连续方程等)，建立炬内的磁流体动力学多场耦合模型，最后定量模拟外部载流螺管线圈的电流大小对等离子体传热流动的影响。结果表明，螺管线圈的电流越大，则等离子体的旋转速度越大，温度的均匀性越好，有利于金刚石膜的沉积。

关键词： 等离子体炬 多场耦合 外磁场 金刚石膜 磁控直流 传热流动

作者: 唐达培 高庆 李映辉

作者单位: 西南交通大学力学与工程学院，成都 610031

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 1-7

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）