微泵液压等效模型和考虑薄膜刚度的特性分析

摘要：

本文研究了压电无阀微泵的动态特性，将其等效为包含液压元件的液压系统。采用有限元分析(FEA)方法，计算了薄膜的静态特性和自然频率。同时给出了液压等效系统的数学模型，并采用AMESim软件对系统进行仿真研究，分析了在考虑薄膜刚度情况下微泵的压力和输出流量动态特性。通过仿真结果比较可以看出，有限元分析与液压等效系统的结合提供了一个简单、有效地研究压电无阀微泵动态特性的方法。

关键词： 无阀微泵 液压模型 薄膜刚度 计算机仿真

作者: 蒋丹 李松晶 包钢

作者单位: 哈尔滨工业大学流体控制及自动化系 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）