洁净室空气过滤器系统检漏方法有关问题

摘要：

对当前国际上,洁净室HEPA/ULPA过滤器系统的检漏方法进行介绍并对其特点进行分析。对比当前国内过滤器系统的检漏情况进行讨论。

关键词： 洁净室 空气过滤器 扫描检漏 指认漏透过率 指认漏预计粒子数 随机误差

作者: 严德隆

作者单位: 中国电子工程设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国国际洁净技术论坛

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 13-19

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）