超声波电机二维精密控制系统

摘要：

发展了一种采用超声波电机精密驱动的二维精密控制系统。 利用超声波电机的低速大转矩、动作响应快、定位精度高等特性，直接驱动二维精密平台，可获得很高的位移分辨率。 利用上位机、DSP控制器和编码器组成的闭环控制系统，通过对超声波电机驱动信号的调频实现精密定位。已研制的二维平台，采用一对直径为60mm的超声波电机作为驱动元件，可获得100nm的位移分辨率，同时也适用于要求大行程、高位移精度的实际生产过程。

关键词： 超声波电机 精密控制 位移分辨率 闭环控制系统

作者: 邓卫平 金龙 徐志科 胡敏强

作者单位: 东南大学电气工程学院，江苏省 南京市 210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电器工业协会微电机分会第五次会员代表大会暨企业名牌战略与微电机技术发展论坛

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 119-122

在线出版日期: 2007-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）