补偿电容式微加速度计零偏的一种方法

摘要：

设计了一种微小电容阵列来补偿电容式微加速度计的零偏,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明其具有约0.01fF的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18um的CMOS工艺下,取得了1.23％的相对精度,表明这种方法是可行性。

关键词： 微小电容阵列 补偿电容式 微加速度计

作者: 刘民杰 董景新

作者单位: 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会飞行器控制与操纵第十二次学术交流会暨陀螺与惯导第三次学术交流会

会议地点: 福建泰宁

会议语种:中文

页码: 235-238

在线出版日期: 2007-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）