影响PSD线性度的因素

摘要：

本文用有限元方法研究了影响位置敏感探测器（PSD）度的结构因素，给出了计算模型和分析方法，以枕形结构和方框形结构二维PSD 为例，计算并讨论了这两种结构二维PSD结构参数、电参数、负载等因素对其位置线性度的影响，计算结果与他人报道的实验结果基本吻合，并得到了对设计和应用PSD 具有指导和参考意义的参数和应用数据。

关键词： 位置敏感探测器 有限元法 线性度

作者: 黄梅珍 陈钰清

作者单位: 上海交通大学物理系光学工程研究所 浙江大学国家光学工程仪器技术研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）