一种超小型1×2微机械光开关

摘要：

设计制作了一种非硅基底的1×2 微机械光开关，利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换，开关时间<3ms，封装尺寸缩小至21mm×16mm×12.6mm，驱动电压5VDC，经5×10 次开关重复性测试，性能稳定。

关键词： 光纤通讯 光开关 微机械

作者: 曹钟慧 鲍俊峰 吴兴坤

作者单位: 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）