燃烧化学沉积纳米陶瓷薄膜的工艺条件分析

摘要：

本文采用了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法——燃烧化学沉积法.其特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基体上沉积出纳米陶瓷薄膜.本文以制备α-Al<,2>O<,3>纳米薄膜为例,分析了工艺条件对制备纳米薄膜的影响.

关键词： 纳米陶瓷薄膜 工艺条件 燃烧化学沉积法 薄膜制备

作者: 张增志 韩桂泉 张利梅 程国清

作者单位: 中国矿业大学北京校区机电工程系(北京) 中国矿业大学北京校区化学与环境工程学院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 539-542

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）